昨天的文章我们了解了离子束抛光的主要概念及离子束抛光机的研发现状，今天我们来看离子束抛光机的优点。

1、非接触式的材料去除

离子束抛光机加工过程中镜面不会因受到应力作用而产生形变，因此不会产生复印效应。在镜面边缘处去除函数不因为接触面积、压力变化而产生变化，边缘去除函数与中心相同，加工过程不存在边缘效应。加工过程中离子源能够完全运动出工件表面，保证加工过程能够进行完全卷积，具有更强的可操作性。

2、近高斯型去除函数

与其他光学加工方法的去除函数不同，离子束抛光法的去除函数具有接近高斯型的空间分布，便于结算加工驻留时间。同时，由于离子束抛光过程发生在真空中，决定材料去除率的因素更加明确，影响去除函数稳定性的成分较少，去除函数的可控性与稳定性更好，便于通过调节工作参数得到具有不同特点的去除函数，从而提升了光学加工的可控性与准确性。

3、更好的光学加工适应性

离子束抛光机在抛光过程中，束流始终与光学镜面紧密贴合，不会引入由于工具和镜面不吻合而导致的频段误差。不仅仅适用于平面、球面的光学加工，更适用于高陡度非球面的高精度加工过程。同时，离子束抛光法能够用于大多数常用的光学材料的高精度抛光过程，不需要根据材料的不同而使用不同的磨料或抛光液。

4、更准确的材料去除过程

离子束抛光过程中，材料体积去除率与材料去除分布均高度可控。与接触式方法相比较，离子束抛光法去除函数能够通过实验与数学计算准确标定计算，从而确保离子束抛光具有很高的收敛效率，是一种真正的确定性加工方法。 5、更广泛的应用可能性

传统方法往往只能以材料去除为[敏感词]目标进行加工规划，且各方法由于其技术特点往往无法对所有空间频段残差进行有效地收敛和修正。而离子束抛光机的作用过程中，离子与镜面材料相互作用，在此过程中会发生一系列复杂的物理过程，不仅仅能够准确的去除材料，还能够进一步用于提升镜面的表面质量。例如，采用牺牲层法提升镜面粗糙度、采用附加去除材料法实现全频段收敛等应用。